MCS100A100流量傳感器
規(guī)格
型號(hào):MCS100A100/ MCS100A104 / MCS100A108/ MCS100A112
適用氣體:空氣,氮?dú)?/span>
氣體必須干燥且不含腐蝕性成分（例：氯、硫、酸等）
氣體必須是清潔氣體，不含粉塵和油。
流量范圍:-3～+3L/min /0～3L/min/ -0.5～+0.5L/min / 0～0.5L/min
以上數(shù)值為20℃，1atm條件下數(shù)值。
操作溫度:0～50℃(環(huán)境溫度與介質(zhì)溫度均為此數(shù)值）
操作濕度:10～80%RH (無(wú)結(jié)露)
操作壓力范圍:-100～+200KPa (確保壓力特性的范圍:-70～+200KPa)
輸出電壓精度:±5%FS
響應(yīng)速度5ms（一個(gè)采樣周期內(nèi)，流量變化量*大為95%FS）
額定電壓12～24VDC, 12VDC趨動(dòng)時(shí)，紋波電壓小于5%，
24VDC趨動(dòng)時(shí)，紋波電壓小于10%
消耗電流:12mA以下
管路連接:M5內(nèi)螺紋
安裝位置:任意
重量9g
選型表
說(shuō)明
序號(hào)
MCS100A100: -3～+3L/min流量傳感器
MCS100A104: 0～3L/min流量傳感器
MCS100A108:-0.5～+0.5L/min流量傳感器
MCS100A112: 0～0.5L/min流量傳感器
可選附件（另售）
序號(hào)說(shuō)明
81446888-001 帶插頭連接電纜
質(zhì)量流量傳感器MCS100系列可以運(yùn)用在各種科學(xué)儀器的空氣流量測(cè)量、微型電子部件的吸附確認(rèn)等應(yīng)用中
